HJT的主要生产工艺有制绒清洗、非晶硅薄膜沉积、TCO制备和丝网印刷四步，其中TCO制备是生产HJT电池的第三道核心工序，高质量的TCO薄膜能有效提升HJT电池的整体转换效率。目前TCO镀膜设备主要有PVD和RPD两种，相较于PVD，应用RPD工艺的HJT电池转换效率略高，然而受制于核心部件依赖进口且专利保护严密、靶材供应商少且成本较高、设备来源单一等问题，RPD并没有成为主流。

12月23日，在首届中国·泰兴“太阳谷”异质结国际论坛暨第三节非晶硅/晶体硅异质结太阳能电池技术与国际化道路论坛上，捷佳伟创副总经理陈麒麟博士强调，TCO镀膜技术是推动常规异质结迈向高效异质结的关键技术。目前异质结量产效率的分水岭是24.5%，要实现25%的量产效率，RPD扮演着非常关键的角色，同时异质结电池效率要想达到25%以上，必须要通过双面技术来实现。未来超高效率的电池技术将全部建构在异质结电池基础上，这也是异质结电池受到业内最高重视的原因。

捷佳伟创于2003年成立，17年来公司专注光伏设备的发展，设备单体销售超100GW。早在2018年，捷佳伟创就取得日本住友重工RPD设备在中国大陆地区的授权，并自主研发成功推出RPD5500A产品。据悉，即使按照相对保守的预期，RPD5500A设备也能在常规HJT的基础上带来0.6%以上的效率增益，每小时毛产能达5500片，为HJT电池提供更宽的工艺窗口与更稳定的量产。RPD5500A还结合新一代的靶材技术和工艺，载子迁移率已经超过150，带来更高的效率增益、更低的电子共振吸收、更好的长波透光率、更优的导电性，从而缓解HJT电池的低温银浆消耗量大的痛点。

除此之外，捷佳伟创还推出二合一设备PAR5500，产品正面采用新型RPD，背面采用PVD，完美整合为一台设备与一套自动化，设备正面入光面TCO采用RPD兼具高穿透的光学特性与优异的电性，背面TCO采用PVD制备。技术人员表示，二合一机PAR5500不需要翻片自动化设备，可节省占地面积50%以上，提效与低成本兼具，性价比极高。随着国内近年逐渐涌现出多家优秀靶材供应商，目前靶材已经完成国产替代，单片电池的靶材成本已可与PVD持平。“我们已经实现了异质结整线设备全部国产化，HJT新产线效率突破了25%，完成常规HJT向高效HJT的蜕变。”

原标题：捷佳伟创陈麒麟：RPD是常规HJT迈向高效HJT的关键装备