为了释放硅异质结太阳能电池的全部性能，需要减少寄生损耗。在这里，苏州大学Zhang Xiaohong、Yang Xinbo、苏州迈为科技股份有限公司Zhou Jian和新南威尔士大学Alison Lennon等人开发了一种工业规模的高频等离子体增强化学气相沉积系统。

该系统具有最小化的驻波效应，能够沉积具有优异电子选择性、低寄生吸收和高均匀性的掺杂nc-SiOx:H。接下来，作者展示了无籽镀铜，从而产生具有高纵横比和低金属分数的网格。

对于具有丝网印刷银电极和镀铜电极的M6尺寸双面硅异质结器件，作者分别获得了25.98%和26.41%的认证效率。这些结果强调了硅异质结技术的性能潜力，并降低了大规模制造的门槛。

原标题：Nature Energy: 工业级沉积氧化硅纳米晶制备效率26.4%的硅异质结铜电极太阳能电池