5月24-26日，SNEC第十六届(2023)国际太阳能光伏与智慧能源(上海)大会暨展览会成功举办。会展期间，东莞市晟鼎精密仪器有限公司总经理苏宜鹏接受了国际能源网记者的采访。

专注等离子技术开发十余年

苏宜鹏介绍，东莞市晟鼎精密仪器有限公司（简称“晟鼎精密”）于2012年成立，迄今已有11年的历史，公司业务主要围绕新能源、半导体、3C等行业进行等离子技术的应用及开发。公司主要客户有比亚迪、中航、宁德时代、亿纬锂能、小米、华为、OPPO、VIVO、APPLE等。“晟鼎是广东省专精特新及高新技术企业，入选了东莞市“倍增计划”企业名单（512家），并通过了东莞市工程技术研究中心和重点实验室(2022年第二批)认定。”

苏宜鹏表示，晟鼎精密11年以来一直专注于等离子技术的开发，现技术团队人数达80多人，由新能源行业、设备自动化、机电应用等高端人才组成，其中本科学历占比为50%，能更快速，更专业响应头部客户的开发需求。除了自身团队的持续创新，晟鼎精密更与华工、中大、川大达成产学研合作，针对于新能源领域中等离子技术应用进行了深度合作及研发。“华工每年输送1-2名硕士研究生到公司实习，为后续研发创新打下了厚实的理论基础。”

等离子干法清洗技术

在光伏领域是创新性突破

苏宜鹏向国际能源网记者介绍，本次展会晟鼎精密带来的基于石墨舟中氮化硅及多晶硅的等离子干法清洗技术。“传统的清洗方式是通过氢氟酸浸泡、喷淋最后烘干的湿法清洗。湿法清洗有着占地面积大，功耗高，效率低等缺点。而我们带来的石墨舟等离子干法清洗占地面积小，功耗小，效率高。同时解决了湿法清洗无法实现自动化的问题，为企业缩短生产时间，有效降低成本。”

此外，“石墨舟等离子干法清洗技术属于新工艺替换，也是行业内的创新。我们现已向有行业头部客户提供demo机服务，设备整体表现不错，如50GW湿法清洗需要10-12个小时，而干法清洗只需要50分钟。可实现多晶硅（Poly)清洗，更有机会实现与PVCVD设备对接达到自动化效果。而以上这些功能是湿法清洗无法实现的。”

自去年以来，新能源扩产潮凶猛，特别是在光伏电池、组件领域，新上项目众多，谈到对晟鼎精密的影响，苏宜鹏认为，“扩产潮对于公司经营有很大的促进作用。干法清洗在光伏领域中是一个创新性的突破，一经推出，受到了很多客户的欢迎，现潜在客户订单可达3亿元。”

谈到光伏设备领域专业与细分化的发展以及影响，苏宜鹏认为，“在细分领域的突破，为行业解决小工艺段的的难题，是我们作为民族企业努力的方向，也是我们的使命。”

“双碳”目标下，以风光储能为代表的新能源迎来蓬勃发展之势。苏宜鹏表示，晟鼎11年以来一直专注等离子技术的研发及应用开发，而等离子在新能源行业有很多应用。例如石墨舟等离子干法清洗，在行业内，是一种颠覆性的创新，是替代传统的湿法清洗的新型方案。与此同时，“我们在微波等离子、射频等离子技术的研发也有一定的建树。”

此外，苏宜鹏表示，“在市场开拓部分，我们主要与TOP客户合作，能更快速、更清楚地了解客户需求及行业痛点。通过我们等离子技术累积和80多人技术团队的创新，可更精准的解决行业痛点，为行业创新和发展提供专业的解决方案。”

最后，苏宜鹏也表达了对晟鼎精密的未来愿景，“未来，我们将再接再厉，攻坚克难，争取突破关键核心技术，结合光伏行业的工艺，推出更高品质的等离子清洗设备，为广大客户提供更专业、更全面、更权威的表面处理与检测服务。” 

原标题：晟鼎总经理苏宜鹏：等离子干法清洗技术在光伏领域是创新性突破！