2月5日，正值正月十五元宵佳节，宝企深圳市大族光伏装备有限公司（以下简称“大族光伏”）迎来了2023年度新春首批设备PECVD发机，开启了2023年极致奋进、大展宏“兔”的新征程。

大族光伏系上市公司——大族激光控股子公司，是专业提供光伏行业高效成套装备的设备制造商。大族光伏聚焦高效太阳电池端装备环节，在掺杂、薄膜沉积、激光加工等核心工序不断突破，为钙钛矿电池、TOPCon电池、HJT电池及组件客户提供更高效的解决方案和完全自主知识产权的高端精品装备，促进行业不断提质增效。

据悉，PECVD即等离子体增强化学气相沉积设备，是薄膜沉积设备的一种，而薄膜沉积设备是集成电路前道生产工艺中的核心设备之一。大族光伏拥有中国第一代光伏用扩散炉和管式PECVD的研发队伍，系国内最早涉足光伏产业的设备研发技术团队，核心技术成员多具有15年~30年的半导体及光伏设备行业经验。目前，大族光伏拥有激光掺杂机、低压扩散/氧化退火炉、低压硼扩散炉、丝网印刷整线设备、PECVD等核心产品。

此前，大族激光在投资者互动平台表示，旗下PECVD、扩散炉、退火炉等设备已经中标行业头部客户批量订单。

原标题：大族光伏兔年首批设备PECVD发机