3.2 线速度和工作台速度
线速度与工作台速度曲线的变化节点是整体一致的。在切割过程中,导轮存在一定的跳动值(一般地,导轮径向跳动<30μm,轴向跳动<20μm),当钢线在导轮槽内高速运转的过程中,受导轮跳动的影响,线网会抖动,且线速度越快,线网抖动越剧烈。由于切割初始,钢线入刀瞬间处于不稳定状态,因此入刀时线速度较慢,使得钢线平稳入刀,防止产生入刀薄厚片。当钢线在硅块中定位完成后,逐步提高线速度,以提高砂浆的切割能力。但是由于切割过程中存在线弓,一般为5-7mm,由于切割过程中碳化硅和硅块之间摩擦产生大量热量,使得粘接硅块和玻璃的胶层变软,而出刀时,钢线首先经过胶层,再经过硅块,最后经过玻璃,若出刀前此线弓不能减小,则钢线会由于进入不同材质时受力的作用崩开造成硅片胶面崩边。为防止胶面崩边的产生,要减小线弓,因此要提前降低工作台切割速度和与之相适应的线速度。
3.3 砂浆流量
砂浆是由碳化硅和悬浮液按照一定的比例配制成的具有一定密度和粘度的混合物,由于悬浮液的悬浮作用,碳化硅悬浮在钢线上,随着钢线的运转对硅块进行磨削起到切割作用。开始切割时,砂浆具有很强的切割能力,但是随着切割的进行,碳化硅会破碎,切割能力逐渐减弱。因此在开始入刀时,砂浆流量应较小,一方面防止流量大切割能力强导致的硅片入刀点薄,另一方面是防止砂浆的冲击作用导致钢线抖动造成入刀不稳产生入刀薄厚片。待钢线平稳入刀后,逐渐增大砂浆流量值,使其与线速度和工作台速度相匹配。同理,由于出刀时钢线速度较慢,为避免砂浆的冲击作用导致产生胶面崩边,要在出刀前提前降低砂浆流量。
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