TOPCon是一种基于选择性载流子原理的隧穿氧化层钝化接触太阳能电池技术，2013年由德国Fraunhofer太阳能研究院首次提出。TOPCon电池结构为N型硅衬底电池，在电池背面制备一层超薄氧化硅，然后再沉积一层掺杂硅薄层，二者共同形成了钝化接触结构，有效降低表面复合和金属接触复合。计算表明，TOPCon电池效率极限28.7%，最接近晶体硅太阳能电池理论极限效率29.43%。近年来， PERC作为行业主流产品，效率提升渐遇瓶颈，行业技术焦点正由P型转向N型。较其他N型电池技术，TOPCon在现有PERC设备基础上，修改部分工艺即可完成技术升级。因此，TOPCon因其低衰减、效率提升潜力大、产线升级成本低等优点，被行业广泛关注。自2020年起，晟成光伏开始着手TOPCon电池核心工艺设备研发。本周，晟成光伏首台TOPCon技术二合一镀膜设备正式交付。

针对市面上其他TOPCon光伏电池背钝化镀膜设备的优缺点进行深入分析，晟成光伏决定采用PECVD镀膜与低损伤PVD镀膜相结合的技术方式来制备TOPCon电池的背面隧穿二氧化硅膜层和掺杂非晶（碳化）硅膜层。该技术方式可以有效减少甚至避免目前行业内LPCVD设备出现的绕镀问题，以及管式PECVD容易出现的爆膜、石墨舟寿命低及量产不稳定的问题，同时又可以进一步规避采用大尺寸线性离子源依赖进口、造价昂贵和膜层均匀性较差的问题。
晟成光伏TOPCon技术二合一镀膜设备，其低损伤PVD镀膜结构设计可以有效提高膜层的钝化品质，碳化硅膜层的加入可以减少长波段光的吸收损失以及提高TOPCon电池的电流密度。同时，晟成光伏TOPCon技术二合一镀膜设备的板式镀膜结构设计具备产能高、镀膜温度低、膜层品质优异等特点，可兼容M2-M12不同尺寸的硅片，有效提升了TOPCon电池的良品率及量产平均转换效率，并有助于降低生产能耗和设备硬件成本。

目前晟成光伏开发的第一代TOPCon技术二合一镀膜设备命名为晟曜系列，可以根据客户产能需求定制不同型号规格。针对TOPCon技术二合一镀膜设备可能出现的轻微绕镀问题，晟成光伏特别开发了与之匹配的链式BOE去绕镀清洗设备，两者配套使用，可使设备功能和生产成本达到最优化。晟成光伏主要从事光伏行业智能化装备的研发、制造、销售及服务，公司业务已经覆盖国内外所有主流光伏企业，在光伏组件自动化产线细分领域市场份额排名第一。从组件装备到电池装备，从自动化装备到核心工艺装备，晟成光伏向前迈进的每一步都坚定稳健。此次TOPCon技术二合一镀膜设备交付，再一次证明了晟成光伏的技术创新能力。截止目前晟成光伏在TOPCon、HJT、钙钛矿等高效电池及组件装备领域均有先进技术储备以及实际产品销售。

未来晟成光伏将继续致力于加速光伏行业全产业链智能化进程，让光伏制造更高效、更安全、更轻松，为光伏产业发展提供坚实的装备力量，为全球新能源发展注入更多“智造”动能。

原文章：晟成光伏首台TOPCon技术二合一镀膜设备成功交付