IBC电池超高的转换效率表现，吸引了大批的研究机构和太阳能企业，从新电池结构、新钝化技术、掺杂技术、金属化工艺和封装工艺等方面，作出了大量的实验室研究成果和量产探索成果。IBC电池量产工艺的关键问题，是如何低成本的在电池背面制备出呈叉指状间隔排列的P区和N区，以及在其上面分别形成金属化接触和栅线。SunPower及后来者，曾尝试过掩模光刻、离子注入、炉管扩散、CVD原位掺杂、激光掺杂等不同的设备和工艺，来制备IBC电池背面P区和N区。

随着设备成本的下降和工艺的成熟，IBC电池慢慢形成了三大工艺路线：1）以SunPower为代表的经典IBC电池工艺；2）以ISFH为代表的POLO-IBC电池工艺；由于POLO-IBC工艺复杂，业内更看好低成本的同源技术TBC电池工艺（TOPCon-IBC）；3）以Kaneka为代表的HBC电池工艺（IBC-SHJ）。见下图：

IBC电池转换效率的进化


（1）经典IBC电池工艺特点：
掩模和炉管扩散制备背面PN区
P区N区隔离，分别跟金属电极接触
单面丝网印刷，无主栅或多主栅
兼容部分PERC工序
高温制程，设备及工艺成熟、成本低
量产转换效率23.5%-24.5%

由于主流PERC电池转换效率已到23%，TOPCon电池和HJT电池也能轻松达到24.5%转换效率，经典IBC电池获取的效率溢价，难以覆盖增加的成本，该工艺路线慢慢变得没有竞争力，业内已将目光投向更有前景的TBC电池和HBC电池技术。

（2）TBC电池工艺特点：
掩模和炉管扩散制备背面PN区，或掩模和CVD原位掺杂制备背面PN区
PN区与基区之间沉积一层超薄隧穿氧化层
P区N区隔离，分别跟金属电极接触
单面丝网印刷，无主栅或多主栅
兼容部分TOPCon工序
高温制程，工艺接近成熟、成本低
量产转换效率24.5%-25.5%

由于TOPCon电池工艺已成熟，吸收了TOPCon电池关键技术工艺的TBC电池，成为了性价比最高的IBC电池工艺路线。SunPower和国内尝试量产IBC电池的企业，纷纷向该技术路线转型。

（3）HBC电池工艺特点：
掩模和CVD原位掺杂制备背面PN区
电池正面沉积本征非晶硅钝化层
PN区与基区之间沉积本征非晶硅钝化层
PN区与金属电极之间沉积TCO层
单面丝网印刷，无主栅或多主栅
兼容HJT设备和工艺
低温制程，工艺接近成熟、成本高
量产转换效率25%-26.5%

吸收了非晶硅钝化技术的HBC电池，开路电压高达740mV，转换效率最高达到26.63%，成为新一代最有发展潜力的晶硅电池工艺路线。 

原标题：IBC电池技术及量产工艺演进