2 槽型

目前线锯机床常使用的导轮槽型为V型槽，角度为40°- 80°，槽深为180μm-250μm，但由于V型槽底部尺寸不易控制且形状不规则，开始时钢线不能到达槽底部，而是卡在中间，切割过程中，随着钢线在槽内高速运转，由于摩擦作用，导轮槽底部磨损较快。当钢线在V型槽内运转时，钢线也易在槽内左右晃动，钢线跳动严重时，甚至跳出所在V型槽内到另外一个V型槽内，造成张力不稳，切割出不合格的硅片，例如厚度偏差片、TTV超差片及锯痕不合格片。由于V型槽导轮槽磨损较快，使用寿命较短，需要经常更换导轮，这会影响产能。

目前有一种新槽型是将图1所示的V型槽变为图2所示的U型槽，槽底部圆弧半径值为切割用钢线的半径值，槽的两侧壁仍为V型。由于在切割过程中钢线会磨损，因此在导轮入线口与出线口位置的钢线直径不同（视切割的硅块长度不同，约相差8-15μm，），需根据钢线的磨损情况进行圆弧半径值的补偿，例如，钢线初始直径为130μm，切割至出线口时线损10μm，则出线口导轮直径为120μm，而入线口与出线口之间的导轮槽底部半径值则需要进行分段补偿。这样，导轮槽的底部直径与钢线的直径相吻合，因此钢线在槽内高速运转时较稳定，不会出现钢线左右移动的情况，切出的硅片外观质量良好，不会出现锯痕或TTV超差片，提高了产品质量。与此槽型相匹配的两侧壁夹角范围为45°-60°，槽深为180μm-200μm，角度与槽深的关系为：角度越小则槽深越深。当钢线在新型槽内传动时，导轮槽磨损程度减小，延长了导轮的使用寿命，避免频繁更换导轮，提高了工作效率。